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RGA 系列薄型高速高重復(fù)性直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺

簡要描述：RGA 薄型高速旋轉(zhuǎn)臺非常適合需要低質(zhì)量和大孔徑的工業(yè)應(yīng)用，但需要快速和精確地旋轉(zhuǎn)晶圓卡盤等樣品架。

快速旋轉(zhuǎn)、薄型、大光圈
高重復(fù)性
低擺動和低偏心率
高扭矩和高加速度
全鋼結(jié)構(gòu)，具有高剛度和熱穩(wěn)定性
即插即用 ESP 兼容性

基礎(chǔ)信息

產(chǎn)品型號

廠商性質(zhì)

經(jīng)銷商

更新時間

2024-12-30

瀏覽次數(shù)

740
詳細介紹
品牌Newport/美國價格區(qū)間面議
產(chǎn)地類別進口產(chǎn)品種類電動
應(yīng)用領(lǐng)域綜合

產(chǎn)品型號

型號規(guī)格
RGA150電動旋轉(zhuǎn)位移臺，高速，薄款設(shè)計
RGA150MAP電動旋轉(zhuǎn)位移臺，高速，薄款設(shè)計

產(chǎn)品規(guī)格

型號RGA150RGA150MAP
角度范圍360 °360 °
最大速度1800 °/s1800 °/s
最小位移增量0.01 mdeg0.01 mdeg
峰值驅(qū)動扭矩11 Nm11 Nm
中心負載能力50 N50 N
雙向重復(fù)精度，典型值±0.0975 mdeg±0.0975 mdeg
精度，典型值±4 mdeg
精度，保證值±8 mdeg±1 mdeg
擺動，典型值±12 µrad±12 µrad
擺動，保證值±26 µrad±26 µrad
偏心率，典型值±0.5 µm±0.5 µm
偏心率，保證值±1 µm±1 µm
孔徑90 mm90 mm
MTBF20,000 hours @ 30% duty cycle20,000 hours @ 30 % duty cycle
電纜長度5 m5 m
重量4.5 kg4.5 kg


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